เป็นการดำเนินการขั้นแรกของกระบวนการทำ Benchmarking วัตถุประสงค์ของการวางแผน คือ เพื่อทำการกำหนดหัวข้อของการทำ Benchmarking และกำหนดองค์กรที่เราต้องการจะเปรียบเทียบด้วย รวมถึงการกำหนดวิธีการเก็บข้อมูล ซึ่งขั้นตอนนี้อาจใช้หลัก 5 W 1 H คือ What When Where Why Whom และ How