ส่วนขั้นตอนของความหลุดพ้น ในปรัชญาเชน เมื่อพิจารณาตามคุณสถาน จะมี ๑๔ ขั้นตอน คือ
๑. มิถยาทฤษฎี คุณสถาน ขั้นที่ยังมีศรัทธาที่ผิด ๆ
๒. สาสวาทนะ สัมยัคทฤษฎี คุณสถาน ขั้นที่เริ่มมีศรัทธาที่ถูกต้อง
๓. มิศร คุณสถาน เป็นขั้นของความลังเลสสัย อยู่ระหว่างความเชื่อที่ถูกต้องกับความเชื่อที่ผิด
๔. อวิรตะ สังยัคทฤษฎี คุณสถาน เป็นขั้นที่มีศรัทธาถูกต้องมั่นคง
๕. เทสสัมยตะ คุณสถาน เป็นขั้นที่กรรมเริ่มอยุดหลั่งไหล
๖. ปรมัตตะ สัมยัค คุณสถาน เป็นขั้นที่มองเห็นความสงบบางส่วน แต่ยังมีความพอใจในทางโลกอยู่
๗. อปรมัตต สัมยตะ คุณสถาน เป็นขั้นที่สามารถชนะความหลับได้
๘. นิวฤตติ พาทระ คุณสถาน เป็นขั้นที่ชีวะเริ่มมีความบริสุทธิ์จนสามารถทำให้การหลั่งไหล ของกรรมน้อยลงและกรรมเก่าอ่อนตัวลง
๙. อนิวฤตติ สามปรายะ คุณสถาน เป็นขั้นที่ไม่มีความโกรธและมนะ ส่วนราคะจะเบาบาง
๑๐. สุกษมะ สัมปรายะ คุณสถาน เป็นขั้นที่กำจัดกิเลสได้เหลือเพียงโลภะอย่างเดียว
๑๑. อุปสานตะ โมหนียะ คุณสถาน เป็นขั้นที่สามารถกำจัดกรรมชั่วได้
๑๒. กษีณะ กาษายะฉทมสถา วีตราคะ คุณสถาน เป็นขั้นที่สามารถกำจัดกรรมได้หมด และโมหนียะ (กรรมที่ทำให้เกิดความหลง) ก็จะถูกทำลาย กลายเป็นผู้รู้แจ้ง (ตรัสรู้)
๑๓. สโยคะ เกวลิ คุณสถาน เป็นขั้นที่ชีวะจะพบกับความไม่จำกัด ๔ อย่าง คือ อนันตชญาณ (มีความรู้อันหาที่สุดมิได้) อนันตวีรยะ (มีความเพียรอันหาที่สุดมิได้อนันตทัศนะ (มีความเห็นอันหาที่สุดมิได้) และอนันตสุข (มีความอันหาที่สุดมิได้) ในขั้นนี้กรรมที่จะนำไปเกิดอีกได้หมดสิ้นแล้ว เหลือเพียงอฆาตีกรรม ๔ อย่าง คือ เวทนียะ, อายุส, นาม , และโคตร เพราะยังมี
กิจกรรมทางกาย วาจา และใจอยู่ จนกระทั่ง อายุสกรรมหมดไป กรรมอื่น ๆ นอกจากนี้จึงหมดไปด้วย
๑๔. อโยคะ เกวลิ คุณสถาน เป็นขั้นที่บรรลุโมกษะชีวะจะมีความอิสระอยู่กับ
ความบริสุทธิ์เป็นขั้นที่มีความรู้ชอบศรัทธาชอบ และความประพฤติชอบอย่าง
สมบูรณ์
คุณสถานทั้ง ๑๔ ขั้นนี้ เชนถือว่าขั้นที่ ๑๑ เป็นขั้นแรกของการพัฒนาเพราะสามารถกำจัดกรรมชั่วได้ และขั้นที่ ๑๒ เป็นขั้นของการพัฒนาที่สูงสุด เพราะสามารถกำจัดกรรมได้หมด กลายเป็นผู้รู้แจ้งเป็นอันว่าตรัสรู้ ในขั้น ๑๒ นี้แม้ว่ากรรมเก่าจะได้หมดสิ้นไปแล้ว แต่ก็ยังไม่ถือว่าบรรลุโมกษะ จะต้องรอให้อายุสกรรมดังกล่าวสิ้นไปในขั้นที่ ๑๓ ก่อนจึงบรรลุโมกษะในขั้นที่ ๑๔ คือ ชีวะจะบรรลุโมกษะได้จะต้องแยกออกจากร่างกายก่อนคือ เมื่อสิ้นอายุขัยแล้ว วิญญาณหรือชีวะก็จะออกจากร่างกายลอยสูงขึ้นไปสถิตอยู่ ณ สิทธศิลา ส่วนขั้นที่ ๑-๑๐ ไม่ใช่ขั้นตอนของการพัฒนาที่แท้จริงเพราะยังไม่สามารถกำจัดกรรมได้ แต่เป็นขั้นทีสนับสนุนให้เกิดการพัฒนา จนถึงความหลุดพ้นในวิสุทธิ ๗ และ คุณสถาน ๑๔ มีประเด็นที่คล้ายกันและแตกต่างกันสามารถนำมาเปรียบเทียบกันได้ดังนี้