1.คุณภาพ (Quality) ผลรวมของคุณลักษณะและคุณสมบัติของผลผลิตได้แก่ บัณฑิต ผลงานวิจัย บริการวิชาการ ที่ทำให้เกิดความพึงพอใจแก่ผู้มีส่วนเกี่ยวข้อง
2.ตัวบ่งชี้คุณภาพ (Quality Indicators) ตัวบ่งชี้ว่าการดำเนินงานในแต่ละองค์ประกอบคุณภาพเป็นไปตามเกณฑ์หรือมาตรฐานที่พึงประสงค์
3.นโยบาย (Policy) แนวทางกว้าง ๆ ที่กำหนดขึ้นสำหรับการปฏิบัติและการควบคุม ที่จะทำให้บรรลุวัตถุประสงค์ขององค์กร
4.ประสิทธิผล (Effectiveness) ผลลัพธ์ของการปฏิบัติตามแผนดำเนินการจนบรรลุวัตถุประสงค์ที่กำหนดไว้
5.ประสิทธิภาพ (Efficiency) ผลลัพธ์ของการปฏิบัติตามแผนดำเนินการที่สิ้นเปลืองทรัพยากรน้อยที่สุด
6.ปณิธาน (Will) ความตั้งใจหรือความปรารถนาอย่างแรงกล้าที่จะบรรลุจุดมุ่งหมายที่ตนเองให้คุณค่าและมีความเชื่อ ซึ่งก่อให้เกิดพลังจิตที่จะกำหนดความคิดและกระทำของตนเอง
7.เป้าหมาย (Target) ผลสำเร็จที่ต้องการภายในระยะเวลาที่กำหนด โดยมักระบุเป็นจำนวนเลข เพื่อความชัดเจนและสะดวกในการติดตามและประเมินผลแผนงานหรือโครงการ
8.แผน (Plan) ความคิดหรือวิธีการที่ได้ผ่านการคิดอย่างละเอียดมาแล้วล่วงหน้าสำหรับชี้นำการดำเนินการใด ๆ การวางแผนมักมีการกำหนดวัตถุประสงค์ เป้าหมาย และกรอบเวลาของแผนอย่างชัดเจน
9.การศึกษา (Education) กระบวนการเรียนรู้เพื่อความเจริญงอกงามของบุคคลและสังคม โดยการถ่ายทอดความรู้ การฝึกอบรม การสืบสานทางวัฒนธรรม การสร้างสรรจรรโลงความก้าวหน้าทางวิชาการ การสร้างองค์ความรู้อันเกิดจาก การจัดสภาพแวดล้อมสังคม การเรียนรู้และปัจจัยเกื้อหนุนให้บุคคลเรียนรู้อย่างต่อเนื่องตลอดชีวิต
10.การวิจัยเชิงนโยบาย (Policy Research) การวิจัยเพื่อหาแนวทางและนโยบายการดำเนินการที่จะเป็นประโยชน์ต่อชุมชนและประเทศชาติ โดยอาจนำผล การวิจัยเสนอแนะต่อรัฐบาลหรือแหล่งทุนวิจัยอื่นๆ ซึ่งจะเป็นการสร้างสรรค์โอกาสในการขอความสนับสนุน การวิจัยต่อเนื่องที่จะเป็นการสร้างองค์ความรู้ใหม่หรือนวัตกรรมต่างๆ ต่อไป
อ้างอิงจาก คู่มือการประกันคุณภาพการศึกษา มหาวิทยาลัยเชียงใหม่
