ปัญหา : จุด plasma ไม่ติดและขึ้น error ว่า shear gas not
flow
สาเหตุ : มีความเป็นไปได้หลายเงื่อนไขดังนี้
1. shear gas ซึ่งเป็นอากาศ (Air compressor)
ไม่มีหรือมีน้ำในระบบ
2. flow sensor สกปรกหรือไม่ทำงาน/เสีย
3. Main board มีปัญหา
4. ระบบท่อของ shear gas อุดตันหรือสกปรก
--------------------------------------------------------------------------------------------
ทำการค้นหาสาเหตุที่แท้จริงของปัญหา
1. shear gas
มีปกติแต่มีน้ำเล็กน้อย...ทำการไล่น้ำออกโดยใช้อากาศเป่าไล่
2. flow sensor ทำงานปกติ แต่มีน้ำเช่นกัน ทำการเป่าไล่น้ำด้วย
N2
3. Main board ทำงานปกติ
4. ระบบท่อของ share gas ไม่สกปรกแต่ไปสกปรกที่ตัว shear gas nozzle
แทน
พบว่าสกปรกมาก
การปรับตั้ง shear gas nozzle
คำเตือนหาก shear gas ไม่มี
ไม่มีความเห็น